如何对真空机组进行维护呢？这里主要提三点：第1点是在新泵或者是刚修好的泵投入使用前，***行四到六个小时的试运行。检查机组是否符合要求。第2点是在真空机组使用了两到三年之后要对机组进行***。对它的工作部件进行清理，对损伤的零件进行修复。第3点是当机组运行过程当中遇到系统性的障碍时，因立即切断真空管道，停止泵的运行。以免造成喷油污染，影响工作环境。
使用真空机组应该注意哪些事项
1。准备是用的时候，必须仔细检查每个地方的紧固件有没有松动现象，如有松动，立刻拧紧再使用。
2。在使用前水箱里的水必须是满的，打开水泵进口阀以后再开耐腐泵，泵体内不要脱水运转，以免损坏机器。
3。机器停下以前先把真空降下来，然后停止。以免真空过高形成倒吸损坏止回阀。
4。在使用汽水串联喷射真空泵机组的时候，先开机器，然后打开蒸汽阀，蒸汽阀停止首先关闭停止，以防止温度过高而损坏水喷射真空泵。
5。安装蒸汽管道，管道必须保持平衡，如果管内有水，就会影响真空效果。
6。水箱里的循环水应该经常添加，尽量保持底部水温正常，因为水温过高会影响真空度。
真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。
一般认为短间隙下的电1击穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的电1击穿则主要是微粒效应所致。