| 型 名 | ピラニゲージ | ||
|---|---|---|---|
| M-350PG-SD スタンダードタイプ |
M-350PG-SP セ***トポイント付タイプ |
M-350PG-RS RS485タイプ |
|
| 設定圧力範囲 | 5×10-2～1×105（Pa） | ||
| 精度（Pa） | &plu***n;50％：5×10-2 ～ 1×10-1 &plu***n;15％：1×10-1 ～ 1×104 &plu***n;50％：1×104 ～ 1×105 |
||
| 再現性 | &plu***n;2％：1×10-1 ～ 1×104Pa | ||
| 入力***圧 | DC+14～30V | ||
| 消費***力 | 1W | ||
| アナログ出力 | 0～10V | - | |
| ゲージ認識抵抗値 | 13KΩ（D-sub.5-9ピン間） | ||
| セ***トポイント | － | 2接点出力（1A30V,DC） | |
| インターフェース | － | RS485 | |
| 入出力コ***クタ | D‐sub9ピン | ||
| ***大ケーブル長 | 200m（0.34mm2）対応可能＊1 | ||
| 使用温度範囲 | 5～60℃ | ||
| 保存温度範囲 | -20～70℃（非動作時） | ||
| ベーキング温度 | ＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘ***ドのみ） ＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘ***ドのみ） |
||
| 許容過負荷圧力 | 1MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） | ||
| 適合ピラニセンサ型名 | MP-1 | ||
| フランジ形状 | NW16､NW25､φ34ICF､1/8NPT､φ15アダプタ、φ18アダプタ | ||
| センサー材質（主要部） | ピラニフィラメント：タングステン センサーチューブ：ステンレス 導入端子絶縁部：コバールガラス |
||
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | ||
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの***大長は100ｍとなります。
外形寸法図
キャパシタンスゲージ
M-342DG
ピラニゲージ
M-350PG
ピラニゲージ（耐蝕型）
M-351PG
コールドカソードピラニゲージ
M-361CP
コールドカソードゲージ
M-370CG
イオンゲージ
M-311HG
クリスタルイオンゲージ
M-336MX
表示器（1chタイプ・3chタイプ）
M-601GC/603GC
クリスタルゲージ
M-320XG
ワイドレンジ***離真空計
M-431HG
ワイドレンジ***離真空計
M-833HG
***離真空計
M-723HG、M-823HG、M-923HG
サーモカ***プル真空計
M-012DM
ミニチュアゲージ
MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF
ゲージ球
リークディテクタ
蒸着制御***器
配管部品・補助材料
バルブ
導入***
E型***子銃
X***源
***品データ
キャパシタンスゲージ
M-342DG
ピラニゲージ
M-350PG
ピラニゲージ（耐蝕型）
M-351PG
コールドカソードピラニゲージ
M-361CP
コールドカソードゲージ
M-370CG
イオンゲージ
M-311HG
クリスタルイオンゲージ
M-336MX
表示器（1chタイプ・3chタイプ）
M-601GC/603GC
クリスタルゲージ
M-320XG
ワイドレンジ***離真空計
M-431HG
ワイドレンジ***離真空計
M-833HG
***離真空計
M-723HG、M-823HG、M-923HG
サーモカ***プル真空計
M-012DM
ミニチュアゲージ
MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF
ゲージ球
リークディテクタ
蒸着制御***器
配管部品・補助材料
バルブ
導入***
E型***子銃
X***源
***品データ
キャパシタンスゲージ
M-342DG
ピラニゲージ
M-350PG
ピラニゲージ（耐蝕型）
M-351PG
コールドカソードピラニゲージ
M-361CP
コールドカソードゲージ
M-370CG
イオンゲージ
M-311HG
クリスタルイオンゲージ
M-336MX
表示器（1chタイプ・3chタイプ）
M-601GC/603GC
クリスタルゲージ
M-320XG
ワイドレンジ***離真空計
M-431HG
ワイドレンジ***離真空計
M-833HG
***離真空計
M-723HG、M-823HG、M-923HG
サーモカ***プル真空計
M-012DM
ミニチュアゲージ
MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF
ゲージ球
リークディテクタ
蒸着制御***器
配管部品・補助材料
バルブ
導入***
E型***子銃
X***源
***品データ