等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术。在典型的干法刻蚀工艺过程中，一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中，在外部能量作用下（如射频、微波等）形成等离子体，干法刻蚀技术由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于微电子产品制造领域，凭借在等离子体控制、反应腔室设计、刻蚀工艺技术、软件技术的积累与创新，北方华创微电子在集成电路、半导体照明、微机电系统、***封装、功率半导体等领域可提供***装备及工艺解决方案。形成了对硅、介质、化合物半导体、金属等多种材料的刻蚀能力，其中应用于集成电路领域的硅刻蚀机已突破14nm技术，进入主流芯片代工厂，其余各类产品也凭借其优异的工艺性能成为了客户的。
电化学蚀刻
把工件做阳极，在锂电池电解液中接电源，工件上未被维护位置因作阳极而融解，进而做到蚀刻的目地。电化学蚀刻的蚀刻速度一般由工件表层的电流强度来操纵。
针对蚀刻进行为制成品的商品，立即褪去维护油墨。要依据所选用的油墨特性来采用脱墨液：
1.针对水溶性油墨，可选用20%溶液/50~60℃浸泡约十分钟，随后擦洗，除去油墨。
2.针对油溶性油墨，得用开展浸泡约十分钟，随后开展清洗除去。
针对蚀刻的制成品，开展手工制作填漆、电泳工艺或是电镀工艺，进而产生同一平面图二种两色乃至多种多样色调的外型实际效果 
（一）
表面保护
1、涂感光油墨
使用***涂布机，对铜材表面涂上一层薄厚均匀适中，色泽亮丽的感光油墨抗蚀刻油墨，油墨选用的是日本进口精工油墨，有耐腐蚀、抗酸性强、***精准等众多优点。
2、烘干
将涂好感光油墨的铜材放于烘箱里，温度设置在88度，烘干时间为15，烘干后置于空调房冷却。
(二)
***
采用台湾进口***机***，该***机时间控制准确，***强度，确保***后的铜材空位无错位，边缘光滑，***后的铜材用肉眼看，没有任何变化。
(三)
显影
采用***的6米显影机对***后的铜材显影，显影液温度控制在30度左右，加入碳酸钠，按20：1比例配制溶液，搅拌均匀。
把***好的铜材放入弱碱性的碳酸钠溶液中，没有被***部分的油墨，因不耐弱碱就会起化学反应而脱落，经由后续的冲洗、烘干，图案便清晰地显现在铜材上！
