




特种气体系统的设计与施工
特气输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是:气源→控制柜→管道传输→用气点
分类
特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易1燃易1爆气体、有***体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。
特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,安徽特种气体,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,工业特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。
电子行业常用的特气超过三十余种,按***性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的介绍
主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。气体合成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下,特种气体多少钱,通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品。
应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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