定量与误差
每台气相色谱仪分析高纯气体必须做到有相应被测杂质气的敏感度和较好重复性。我们认为在保证上述条件和满足本底要求条件下，仪器的定量误差主要取决于标准气的准确度（可靠性）。对于痕量成分重复测量的相对误差往往比常量分析大的多。对0.1—10ppm浓度的检测重复性（相对误差），在10—20%的相对误差也是较好的；PPT级的杂质气，可以允许有一个数量级之差。在定量方法上都采用了“外标法”，即使用标准气校正。在实验室可以做到用多种配制标准气方法较正，能得到较高的可靠性。而在实际使用中难度很大，因此***在标准气的配制上要求是很严格的。6％，居首位，氧在地球上分布极广，大气中的氧占23％，海洋和江河湖泊中到处都是氧的化合物水，氧在水中占88。
高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。3、氢气系统动火检修，必须保证系统内部和动火区域氢气的***l高含量不超过0。
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，***，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；高纯氢气:液氮的用途工业生产中，用压缩液体空气分馏的方法获得液氮，可以用于作为深度制冷剂，由于其化学惰性，可以直接和生物***接触，立即冷冻而不会***生物活性，因此可以用于：（1）迅速冷冻和运输食品，或制作冰品。对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、***、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
常见高纯气体的用途
***可用作生产增塑剂、润滑剂等；
氯***是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；
氯***可用作烟雾剂、冷冻剂、***抗震剂、局部麻l醉剂；
***可作喷气推进剂、制冷剂、麻l醉剂；甲硫醇用于合成染料、医l药、农l药；
***可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基***主要作为氯丁橡胶原料等
