英国爱德华STP-iXA2206C ISO250F涡轮分子泵
***品概要
STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内，可将小型电源供给集成到机载控制器内（ 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。爱德华真空泵维修代理商分子涡轮泵STP-iXA2206C
用途
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和***化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
特性与优势
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程爱德华真空泵维修代理商分子涡轮泵STP-iXA2206C
技术数据
入口法兰尺寸 ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar 2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2 >108 / 1 x 104
极限压力 10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力 266 Pa (2 Torr)
***大气流 N2 *（仅水冷） 3000 sccm
(5.07 Pam3s-1)
***大气流 Ar *（仅水冷） 1400 sccm
(2.36 Pam3s-1)
额定速度 27000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固***置 任何方向
输入电压 200-240 V
***大输入功率（不带 TMS） 1200 VA
重量 62 kg
* ***大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体，并且使用前级泵（10,000 l/min 大小）的情况。 它会随条件变化而变化。
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一、进口真空泵维修代理商泵维修：
1、BOC EDWA***(爱德华)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、***系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵维修代理商泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空泵维修代理商/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空泵维修代理商/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科)：GLD油旋片真空泵维修代理商泵系列、VDN/VSN油选片真空泵维修代理商泵系列、PVD油旋片真空泵维修代理商泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵维修代理商泵系列、TS/DS干式真空泵维修代理商泵系列等。
11、IWATA（岩田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（汉钟）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵维修代理商泵配件销售：
1、类型：真空泵维修代理商泵专用维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、***销、控制板等。
2、品牌：BOC EDWA***(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空泵维修代理商油销售：
品牌：FOMBLIN真空泵维修代理商油、EDWA***专用真空泵维修代理商油、ADIXEN专用真空泵维修代理商油等。