一个真空系统（或容器）要求做到不漏气是不现实的，也是没有必要的，超声波真空查漏，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。{精}正常工作所能允许的做大漏气量，称ui大允许漏率，简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。
西安世豪电力科技有限公司觉得，由气体定律PV=M Rt/μ可知，当温度一定时，凝汽器真空查漏，气体的质量M可以用气体的压强和体积的乘积PV（即气体量）来表示，而PV又是容易测量的，所以漏孔的大小可以用单位时间漏入系统的气体量（PV）来表示，亦称漏率。其物理意义为压强×体积/时间。漏率的国际单位为“瓦特”（W）或帕·立方米/秒（Pa·m3/s）。
真空检漏法。将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可yi位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，氦质谱真空查漏，从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有：静态升压法；放电管法；真空计法；氢-钯法；离子泵法；高频火花检漏法；卤素检漏法；质谱检漏法。其中离子泵检漏法是，溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低，南平真空查漏，因此，类似于电离真空计的方法，用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。
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