氢气检漏法的主要设备
(1)检漏仪：采用上述工作原理制造的专用氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。
(2)示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。
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真空设备检漏
检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧，用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质，从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得***普遍的检漏仪器，其测量工作原理如下。
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一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量，称da允许漏率，简称允许漏率。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。
如果已知允许的总气载，而没有具体指明究竟有多大，那么，在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总，不同真空系统所允许的总漏率也不同。
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