真空炉的水冷系统包括炉体和真空系统部分。其目的都是带走损失的热量和冷却橡皮密封圏，以保持室温下的操作环境和保护密封圏。 
冷却方式可以在壁上焊若干圏水管，或作成整个水套夹层，前者必须有足够的换热面积，而且由于水管容易有加工及运输过程中碰坏，因此冷壁水套用得较多。
炉体水套包括侧壁、底、顶盖、电极、观察窗等全部外表面。真空系统的水冷却部件包括扩散泵，水冷障板，扩散泵水冷帽，增压泵，机械泵等。汇流铜排由于电流大也要水冷却。 设计水冷套时，首先根据该部分的辐射或传导热损失和进出水温差求出水的体积流量，由于水冷套具有足够的换热面积，因此只要求出水管直径即可。重量流量 Q
G=------［公斤／小时］，Ｑ：热损失［千卡／小时］
Ｃ*△t
假设水的比热Ｃ＝１０００千卡／公斤＊度,，进出水温差△t＝３０－２０＝１０度，
G
体积流量Ｖ＝-----, 水的重量Ｙ＝1000公斤／米３，
Y
____
√4V
于是管径d=--------, 水的流速W=2米／秒
ЛW
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