直线电ji***精度可达0.1μm。“旋转伺服电机 滚珠丝杠”***1高达到2~5μm，阜新音圈电机，且要求CNC-伺服电机-无隙连轴器-止推轴承-冷却系统-高精度滚动导轨-螺母座-工作台闭环整个系统的传动部分要轻量化，音圈电机驱动，光栅精度要高。
若想达到较高平稳性，“旋转伺服电机 滚珠丝杠”要采取双轴驱动，直线电机是高发热部件，需采取强冷措施，要达到相同目的，音圈电机价格，直线电机则要付出更大的代价。寿命方面直线电机因运动部件和固定部件间有安装间隙，无接触，不会因动子的高速往复运动而磨损，长间使用对运动***精度无变化，适合高精度的场合。滚珠丝杠则无法在高速往复运动中保证精度，因高速摩擦，会造成丝杠螺母的磨损，影响运动的精度要求。对高精度的需求场合无法满足。
直线电动机的工作原理与旋转电动机相似。以直线感应电动机为例：当初级绕组通入交流电源时，便在气隙中产生行波磁场，次级在行波磁场切割下，将感应出电动势并产生电流，该电流与气隙中的磁场相作用就产生电磁推力。如果初级固定，则次级在推力作用下做直线运动；反之，则初级做直线运动。
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扁平音圈电机
扁平型音圈电机与矩型音圈电机相比在同等体积的情况下行程相对较短，但其优势是高度面较低。推力达500N，行程达25mm。扁平型系列是产生短行程的X-Y运动的理想产品，其市场主要指向半导体及微机床工业行业。
高压电机维修检查电机的外表有无裂纹，各紧固螺钉及零件是否齐全，惦记的固定情况是否良好。
