被检查的物件刚放入水中时，它的表面上可能出现气泡，如果抹去或捅破这些气泡它们不再出现的话，即可判断原来产生气泡的地方并没有漏孔。如果连续不断有规律的出现气泡，这个地方就有漏孔。
发现漏孔要及时做上标记。有大漏孔时，要先修补大漏孔后再进行小漏孔的检查。
检验是个细致活，任何细微的地方都可能是问题所在，都可能影响到镀膜的效果，因此在检查真空镀膜设备的过程中一定要注意以上的事项。
周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。众所周，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，***了泵的抽气性能。真空电镀蒸发料粒子获得一定动能，真空电镀则沿着视线方向徐徐上升，***后真空电镀附着于工件外表上堆积成膜。
充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。真空镀膜设备根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。
