影像测量仪常见故障分为升降传动故障、工作台故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、电气故障、电子故障以及精度故障等。影像测量仪升降传动故障。常见的有升降有异响、无法上升，下降、下降有坠落感，弹跳、传动时空回间隙大、微调不传动、投影屏框松动等。影像测量仪工作台故障。一般容易出现光杆空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。
当被测物体是黑色塑料、橡胶时，影像测量仪也能轻易测量其尺寸。z 轴测量:当配上高倍物流、有足够监准与***精度时，影像测量仪就可以作Z轴测量，如测量工件的台阶高度、暗孔深度，测量时使用表面光照明。如数码管缺笔划，则需更换或维修。投影屏旋转不计数时，可扭紧角度磨擦机械，焊接好信号线，接好接插等。投影成像故障。
影像测量仪是一种光、 电、机体化的精密测量仪器，需要有良好的维护与***，以保持仪器这好的使用状态。这样才可以保持仪器原有的精度和延长仪器的使用寿命，仪器应放在清洁干燥的室内(20C土5C，湿度低于60%) ,避免光学零件表面汗损、金属零件生锈，尘埃杂物落入运动导轨，影像仪器性能。仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净，再罩上防尘罩。影像测量仪的传动机构及运动导轨、应定期上润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。
