高纯气体管路的设计要点：
1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。联接时，一般在承插口的槽内先填入麻丝、棉线或石棉绳，然后再用石棉水泥或铅等材料填实，还可在承插口内填入橡胶密封环，使其具有较好的柔性，容许管子有少量的移动。
3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。
实验室气路工程
建设标准化规范化的实验室，是需要配备专业的分析仪器（ICP/GC等）的，为了让技术人员更安全、方便、高效地使用这些分析仪器，选择正确又合适的供气模式也是其中不可或缺的一环，近年来，实验室高纯度集中供气模式被广泛应用，它主要由以下部分组成：
☆气站：包括气源、带吹扫自动切换装置、不锈钢盘管或金属软管、一级减压装置、二级减压阀装置、单瓶汇排流、双瓶汇排流、三瓶汇排流、末端/终端减压阀装置、气瓶装置、欠压报警装置、泄露报警装置等 。
☆输送系统：
供气管道采用316L高洁净无缝不锈钢管
管路尺寸：1”、1/2”、3/8”、1/4”、 1/16、1/8” 、3” 、6”……
洁净级别：EP、BA、AP……BAi级钢管壁厚只能做到2mm
通过卡套接头或焊接接头进行连接；
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气体管道怎么安装？
1.终端设计布局
a) 系统设计为二级调压面板系统。终端采用壁挂式设计，面板上设有调压阀、输出压力指示表、紧急切断阀（球阀/隔膜阀），同一墙面气路的呈上下对应并排或上下交错排布，方便操作及美观。面板为不锈钢材质。（具体安装位置参见图纸）
注：壁挂式终端标准型，该终端可以实现在室内对设备的压力调节、输出压力的监控及气路开关控制，省去了每日往返于气瓶间和实验室的奔波，提高了办事效率。
b) 控制终端上的气体出口尺寸要与设备的气体入口尺寸相对应，气体出口接头还应方便安装。
2.气路的布线
a) 气瓶间内一级调压装置面板与实验室内的气路终端之间选用SS316L EP/ BA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra＜0.1-0.3UM管道。
b) 主管线采用OD1/2”(12.7MM)的管道（具体管道尺寸根据流量压力长度来确定）0.5MPA压力下流量可达到20m?/H,完全满足常规用气需求，支管采用OD1/4”(6.35MM)的管道，用焊接三通/弯通分出支路来对设备进行供气。
c) 管道穿过障碍物时须使用管套并采用不可燃材料填充间隙，管道需用固定卡具固定在管道的支架上，管道支架为槽钢结构，材质为镀锌或者不锈钢，美观大方，与墙体和管道固定牢固。
d) 气体管路在铺设过程中要做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间距，每间隔一定距离应设置一组管卡，卡具应由不燃材料制作而成。
e) 管道之间采用先进的美国全自动定位轨道式TIG进行内外保护（TIG）方式连接，其优点是泄漏率可到1 x 10-9 cc.atm/sec.He,且不会再内表面产生氧化层或褶皱等焊接缺陷。
f) 应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应由安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲，管道小的可用专业的工具配合使用，管道大的应采用弯头焊接或者卡套形式连接，以确保使用流畅。
