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广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace80分子泵
分子泵应用一：Hipace 80，Hipace 400 用于分子束外延 MBE，主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。
分子泵应用二：Hipace 80，Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数：分子泵型号接口 DN抽速 l/s压缩比高启动压强mbar极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气 N2氦气He氢气 H2氮气 N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace 806316675848gt; 1X101122lt; 1X10–71.31.752.4
分子泵应用：
分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体：PVD inspection bonding MBE load-locks
工业：***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造
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特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
⑼真空泵的价格、运转及维修费用。
机械安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，珠海PFEIFFER普发，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、***。
⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）
⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。
⑸按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
⑹真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）
⑺对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。
⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。
⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
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广州潽拓光电——Varian Turbo-V300HT
***的转子设计与Twis Torr技术相结合，可将泵级数减少30%
我们特有的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差
电机缩短启动时间并在气体负荷变化下提高泵的稳定性
热耗散更低，真空性能更高
***的水冷系统
优化的风冷系统
洁净的免维护真空
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