洁净室-世纪久海

——高空气过滤器检漏检测方法——

气溶胶光度计测试法

气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO，加压或加热雾化之后，万级洁净室，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，洁净室空调，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法

半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，洁净室，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，洁净室，因此是目前***广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可

三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一，是控制带尘的***净化设备之一，它可以大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域，达到生产车间所要求的生产洁净环境。

四，无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。

——洁净室检测的环境控制要求——

洁净室的生产环境包括室内环境及室外环境。

室内环境指的是洁净的室内环境。室内环境可能影响产品的质量，而室外环境可能影响室内环境的质量。

洁净室检测环境的控制要求

1、在厂房内提供工艺生产所要求的空气洁净度级别，洁净厂房内空气中的尘粒和微生物数

应符合规定。

2、洁净厂房的温度、相对湿度、压差和气流与其生产和工艺要求相适应。洁净室环境的控制要求

3、更衣室、浴室及厕所的设置不得对洁净室产生不良影响。

4、对于产生粉尘的房间要设置有效的捕尘装置 ，防止粉尘的交叉污染。

5、对生物洁净室应定期消毒，使用的***不得对设 备、物料和成品产生污染，***品种定期更换，防止产生耐药菌株。