臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。如果高质量的水或其他流体用在密封的十次冷却回路中，末级热交换器又是专门设计得***少结垢。但间隙放电式臭氧发生器成本远高于开放式。
与传统的灭菌方法相比，臭氧灭菌方法具有以下特点：（1）效率高。高频输出经升压系统后产生正弦波高电压，经电缆与发生器相连，在高频高压的作用下，放电间隙产生冷态等离子体放电生成臭氧。臭氧消毒基于空气，不需要任何其他辅助材料和添加剂。身体包容性好，彻底消毒，具有去除异味的强大功能，如霉菌，蟑螂和气味。 （2）清洁度高。臭氧迅速分解成氧气是臭氧作为灭菌的独特优势。通过使用空气中的氧气产生臭氧。在消毒过程中，过量的氧气在30分钟后结合成氧分子，没有残留物，解决了***消毒方法引起的二次污染问题，并解决了这个问题。消毒后再次清洁。 （3）便利性。臭氧消毒器通常安装在洁净室或空气净化系统或灭菌室（例如臭氧消毒器，转移窗等）中。根据调试验证的灭菌浓度和时间，设定灭菌器的时间和开启时间，操作方便。 （4）经济学。与许多制药行业和医卫生单位的臭氧消毒和灭菌相比，臭氧消毒法与其他方法相比具有很大的经济和社会效益。在当今快速的工业发展中，环境问题尤为重要，而臭氧消毒则避免了其他灭菌方法的二次污染。
臭氧消毒机制通过氧化微生物膜的结构实现杀菌作用。5、果蔬保鲜、防霉：家庭果蔬保鲜只需往袋装果蔬中通入O32分钟，可延长保鲜期7天，也可用于菜窖防霉、果蔬运输。臭氧首先作用于细胞膜，导致膜成分受损，导致代谢紊乱。臭氧继续渗透，渗透膜并***膜中的脂蛋白和脂多糖，改变细胞渗透性并导致细胞裂解。臭氧杀灭病毒被认为是通过核糖核酸材料的氧化来完成的，这是一种抑菌灭菌过程，这是非常彻底的。臭氧气体可以消除空气中的空气和物品的霉菌和气味，并且可以降解***物质，分解甲醛，化合物，硫化物，单氧碳，乙烯等，并将它们氧化成无害物质。所有臭氧化学反应的***终产物是H2O，CO2，O2等。同时，作为瞬态（需要依赖外部能量存在的物质状态），当施加的电场停止提供能量时，经过一段时间（半衰期）挥发后，臭氧本身就会分解并减少成为氧气的性质，成为没有二次污染的消毒方法。