




电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的?
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享电子束产品的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!
设备组成:
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用:电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜,SiO2、ZrO2膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束镀膜的应用
作为制备与加工难熔金属的核心技术之一,电子束技术已在高温合金的成型制造与精炼、高温合金的焊接、表面改性以及涂层制备等领域得到了广泛应用,并将不断涉足航空航天以及核工业等各个领域中。此外,随着对高温合金使用性能要求的不断提高以及新型高温合金的开发,电子束技术在高温合金中的应用也面临着新的挑战,因此需要不断开发电子束技术的新方法与新工艺,如将计算模拟的方法与电子束技术相结合能有效指导材料的制备与加工,此外,DZS450型电子束蒸发镀膜机供应,电子束自动化技术的应用可实现对材料制备与加工过程的准确控制,在降低劳动强度的同时提高材料的使用性能。电子束技术与高温合金的发展相互促进,电子束技术在高温合金中的应用也必然朝着***率、低成本、低能耗的方向发展。此外,电子束技术的应用在大幅度提高高温合金的使用性能的同时,使得超高熔点合金的制备与加工成为可能。电子束技术与高温合金的开发紧密结合,不断发展,在高温合金中的应用领域将不断拓宽,DZS500型电子束蒸发镀膜机供应,应用前景值得期待。
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电子束蒸镀系统的特点
** 涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
** pocket电子枪
** 电子束源和基片遮板
** 高性能的开关电源,杰出的消弧性能
** 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
** 膜厚监测,可设置目标膜厚作为工艺终点条件
** 旋转样品台,电子束蒸发镀膜机供应,提供高均匀性
** 带观察视窗的腔门,便于放片/取片
** PC全自动控制,具有高度的可重复性
** Labview软件的计算机全自动工艺控制控
** 多级密码保护的***访问设计
** EMO保护以及完全的安全联锁
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