活塞式真空泵维修技术的发展
PVD技术出现于二十世纪七十年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。之前在高速刀具领域的成功应用引起了世界各国制造业的高度重视，人们在开发高性能、高可靠性涂层设备的同时，也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了更加深入的涂层应用研究。
与CVD工艺相比，PVD工艺处理温度低，在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响；薄膜内部应力状态为压应力，更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层；PVD工艺对环境无不利影响，符合现代绿色制造的发展方向。目前PVD涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理。
PVD技术不仅提高了薄膜与刀具基体材料的结合强度，涂层成分也由前一代的TiN发展为TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、cnx、DLC和ta－C等多元复合涂层。
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活塞式真空泵维修PVD涂层性能特点
PVD膜层抵抗力
·耐腐蚀，化学性能稳定。
·抗酸
·在常规环境下，户内或者户外，不褪色，不失去光泽并不留下痕迹。·正常的使用情况下不会破损。
·不褪色。
·容易清除油漆和笔迹。
·在强烈的阳光，咸的湿地和城市环境下，都不失去光泽，不氧化，不褪色，不脱落和爆裂。
膜层颜色种类繁多，表面细腻光滑，富有金属光泽。
在烈日、潮湿等恶劣环境中不变色、不脱落，性能稳定。
高度耐磨损，耐刮擦，不易划伤。
可镀材料广泛，与基体结合力强。
高真空离子镀膜技术——对***和生态环境真正无害。
经济性：节约（减少）了一般镀铜（金）产品所需清洁磨光的时间和花费，使用一块软布和玻璃清洁剂即可清洁干净PVD膜层。
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活塞式真空泵维修的应用技术
用离子团束和高真空沉积技术研制了用于超高密度信息存储的有机和金属有机纳米薄膜，其中主要有两类：一类是银/有机（如Ag－CPU）复合薄膜，用扫描隧道显微镜（STM）的电压脉冲写入信号斑直径为10nm，可以稳定地写入和读出0和1信号。
用半导体激光器薄膜读写装置（波长为780nm）研究了Ag－CPU薄膜的光学存储特性，结果表明光脉冲10.4mW，宽10μs写入信号；7.0mW，宽1ms光脉冲可以擦除信号；1.1mW可以稳定读取信号。
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