





而未米的0.18um}艺甚至0.13m工艺,所需要的靶材纯度将要求达到5甚至6N以上。铜与铝相比较,铜具有更高的抗电迁移能力及更低的电阻率,能够满足!平面显示器(FPD)这些年来大幅冲击以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场,亦将带动ITO靶材的技术与市场需求。导体工艺在0.25um以下的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,导致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。
为了解决以上这些问题,需要在铜与介质层之间设置阻挡层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,因此要求阻挡层厚度小于50nm,与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层材料是不同的.需要研制新的靶材材料。因此,对于使用微细色粉的高画质复印机和打印机用辊筒,特别是色粉供给辊,要求更细的微孔。铜互连的阻挡层用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等.但是Ta、W都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬等的台金作为替代材料。
超纯金属,指的化学杂质和物理杂质 (晶体缺陷) 含量***的金属。目前主要以化学杂质的含量为标准,常以杂质在金属中总含 量的百万分之几表示 。超纯金属是相对高纯度的金属,一般指金属纯度达到纯度9以上的金属,物理杂质的概念才是有意义的。
材料的纯度对其性能,特别是微电子学、光电子学性能影响很大,现代高技术产业要求制备出超纯金属以利于制作高性能器件。
在传统产业的应用领域中,对于***的需求也随着这些产业的兴衰而出现此起彼落此消彼长,甚至出现行业的淘汰而与***无缘,例如照相用胶卷。科技的进步和发展,使传统产业发生剧烈的变迁,也使***的供求状况出现急剧的变化,这种变化也是导致了***的价格出现剧烈波动的因素之一。然而在传统产业不断的创新和转型中,***依然成为选择的关键性材料,用更***和更科学的工艺和手段,把***的独特性能发挥得更淋漓尽致。常用的方法有金属热还原法制取稀土金属和熔盐电解法制取稀土金属。