我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。Edwa***EXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。
旋片真空泵的清洗工艺
为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质，必须进行彻底的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。
旋片真空泵的清洗
为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。没有必要清洁新的旋片真空泵，但有必要检查管道入口是否干净，没有***，并擦去表面腻子。
我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。
广州潽拓光电——***维修Edwa*** EXT 70H分子泵
Edwa*** EXT 70H分子泵主要用于分析仪器中。 爱德华真空的EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，
爱德华的Edwa*** EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，其内部涡轮转子是专门为高真空
开发的，层数较普通的 EXT70要多很多，Edwa*** EXT70H 24V 复合分子泵，是专为超高真空设计的。
我司针常用的Edwa*** EXT70H 24V分子维修***内容如下：
＊超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干＊更换了***原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量＊根据ISO1940/1amp; ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准＊测试0-90000rpm启动时间lt;3分钟*测试极限真空值lt;1.0*10－7mbar*持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析
我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。其步骤为，1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境。
广州潽拓光电——***维修Edwa*** EXT255H分子泵
优点
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。（3）旋片泵的结构设计中，转子之间、转子和壳体之间留有空隙，磨损小。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵气体输送能力强
由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵 气体输送能力强 大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。（2）旋片式真空泵的外观设计真空泵的电机外壳采用采用铝合金材料，铝合金具有较高的散热效率，保证长时间连续的正常运行，并具有较好的外观。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。