高纯气体(Purified Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气；8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体。高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体
高纯气体 高纯氦气纯度(V/V)：99.999%执行标准 ：国标：产品介绍： 用于气球、温度计、电子管、潜水服等的充气。健康危害 本品为惰性气体，高浓度时可使氧分压降低而有窒息***。当空气中氦浓度***时，患者先出现呼吸加快、注意力不集中l 共济失调；在气体净化工艺中，合理的选择纯化剂、催化剂、干燥剂和纯化装置，净化系统的正确组合及安装，采取***的净化方法和合理的净化工艺流程，掌握净化原则和操作要点及运行管理等，这一系列的工作是制备高纯气体的关键，是直接关系到气体净化质量的重大措施。继之出现疲倦无力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐，以致***。吸入 迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、医l药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。
在真空离子镀膜中，在真空条件下使高纯气体（氧、氮、***、***）放电实现镀膜。即金属在特定条件下，与高纯气体综合作用形成离子体。在高速作用下，撞击加工工件表面。离子体牢牢粘附在加工工件的表面形成膜层。
在真空离子镀膜中，所选用不同气体所生产出来的产品色泽也会不一样。***气一般用作创造镀膜的环境。镀钛和铬时，充入氮气可生产出银色和***的产品。而想要生产出黑色或***的产品，则需要加入***气体。加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外，所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。1—10ppm浓度的检测重复性（相对误差），在10—20%的相对误差也是较好的。
