






三、如果是用微型泵抽气,情况稍微复杂些。
1、判断微型泵抽气端工况
用于抽气的微型泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵,但从技术角度二者是有区别的,选型时更要特别注意。
简而言之,气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》,不再复述。
水环真空泵腐蚀、冲蚀的修复
金属腐蚀的形态,可分为全mian(均匀)腐蚀和局部腐蚀两大类。前者较均匀的发生在设备的全部表面,后者只是发生在局部。例如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、腐蚀疲劳、磨损腐蚀、脱层腐蚀等。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》,不再复述。
(4) 大流量低扬程时,选用轴流真空泵、混流真空泵;
(5) 介质含气量75%,流量较小且粘度小于37.4mm2/s时,选用旋涡真空泵;
(6) 介质粘度较大(大于650~1000mm2/s)时,选用转子真空泵、往复真空泵(齿轮真空泵、螺杆真空泵);
(7) 对启动频繁或灌真空泵不便的场合,选用有自吸性能的真空泵,如自吸离心真空泵、自吸旋涡真空泵、隔膜真空泵;
(8) 有特别需要时,选用其他真空泵