在包含某种元素1的样品中，照射一次X射线，就会产生元素1的荧光X射线，不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素1的含量的变化而改变。元素1的含量多，荧光X射线的强度就会变强。注意到这一点，如果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度，镀层测试仪，就可以推算出样品中元素1的含量。采用定量分析的时候，可以在样品中加入高纯度的二氧化硅，作为参比样，并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。
X射线荧光光谱分析仪结构及组成：用X射线照射式样时，测厚仪，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，镀层测厚仪，为此试用的仪器叫X射线荧光光谱仪。由于***具有一定的波长，电镀测厚仪，同事又有一定能量，因此，X射线荧光光谱仪有2种基本类型：波长色散型（WD）和能量色散性（ED）。
波长色散型是由色散元件将不同波长的特征X射线衍射到不同的角度上，探测器需移动到想要的位置上来探测某一波长能量的射线。而能量色散型，是由探测器本身的能量分辨本领直接探测X射线的能量。波长色散型谱线分辨本领高，而能量色散型可同时测量多条谱线的能量。
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