感应耦合等离子体刻蚀机的结构二
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刻蚀腔体刻蚀腔体是ICP 刻蚀设备的核心结构，它对刻蚀速率、刻蚀的垂直度以及粗糙度都有直接的影响。刻蚀腔的主要组成有：上电极、ICP 射频单元、RF 射频单元、下电极系统、控温系统等组成。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构一
预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度，内蒙古感应耦合等离子体刻蚀机，不受外界环境（如：粉尘、水汽）的影响，感应耦合等离子体刻蚀机价格，将***性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构三
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供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，感应耦合等离子体刻蚀机厂家，通过压力控制器（PC）和质量流量控制器（MFC）精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。
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