水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点:
结构简单,制造精度要求不高,容易加工。
结构紧凑,泵的转数较
高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以
获得大的排气量,占地面积也小。
压缩气体基本上是等温的,即压
缩气体过程温度变化很小。
由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对
泵内进行润滑,
而且磨损很小。
根据不同的使用环境,油的更换周期不同。更换由时,先敞开进气口,拆下邮箱盖,有手旋转皮带轮(按
箭头方向)
把泵腔里的由全部排至油箱,
将由扫出后用布抹干净。
如彻底清洁,
可再在进气口倒适量的清洁油,
重复以上过程。清洁完后,倒入新真空泵由至油镜中线位置,注意油量不能过多,否则会影响泵的再次启动。
15、泵所有机件,必要,切不可自行拆卸,尤其泵内部,如果有损坏,则会影响真空度和抽气性能
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4
、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要
求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵有很高的抽速,但
不能抽氦,而三极型溅射离子泵,
(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,
两者组合起来,
便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,
有的真空泵不能在大气压下工作,
需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5
、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、
分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油
污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
