净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合***送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
GMP净化厂房参数：
换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000级≥30次。
压差：主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s；
温度：冬季16℃; 夏季26℃; 波动±2℃。
湿度：45-65%; GMP粉和剂车间湿度在50%左右为宜; 电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声：≤65dB(A);
新风补充量：是总送风量的10%-30%;
照度：300LX。
非工作时间采用值班风机运行，关闭系统中的送回风机。非工作时间，送风机、回风机均停止运行，为了使系统停止运行后，避免室外污染空气通过安徽车间净化的围护结构缝隙和由新风口经回风道进入安徽车间净化，***室内的洁净度而设置值班风机；值班风机的风量一般是按维持室内要求的正压值所需的换气次数来考虑的，值班风机运行中所消耗的电能和处理空气所消耗的冷、热量要比系统运行时小得多，设有值班风机的净化空调系统在非工作时，尽量使用值班风机运行，以达到更好的节能效果。