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水的紫外线照射灭菌法不是在水中新加入任何不纯物，也不是使被处理的水发生任何化学变化，而是在极短的时间内存其设备之内完成灭菌过程。因此，紫外线杀菌方法大多适用于清洁的生产用水灭菌。
在仪器工厂用水的微生物控制方面，与制品的质量恶化有关的有芽孢菌属的一般菌类，野生酵母类、丝状菌类等。
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***近加入制造商行列的大手机械制造公司，推出了便携式臭氧机。
臭氧原料的精制：除了借助荧光灯制造臭氧或冷藏库使用的小型臭氧机外，对于工业规模臭氧发生机，作为臭氧原料的空气精制除理，除尘、 除湿是非常重要的，一般来说：用无声放电臭氧发生机产生臭氧的浓度， 以空气为原料时为1-3%，以氧为原料时，为2-6%，如果这个精制处理过程不充分，那么，有仅臭氧的生产效率低，而且原料中的不纯物原封不动地、一部分以氮的氧化物形式进入臭氧处理水理系统。紫外线消毒器杀菌消毒不会造成二次污染，具有***的杀菌效果，杀菌效果稳定可靠，而且安装、操作简单，所以在船舶压载水杀菌消毒系统中得到了普遍的应用。
用于食品制造的生产用水的臭氧杀菌方法，采用纯氧或PSA氧浓缩器来供给臭氧原料。
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现在，除了高精度的连续式臭氧浓度测定器，价格低廉的手提式测定器也已研制出来，所以定期进行臭氧浓度测试，并采取补救措施也是必要的。在水的灭菌过程中，不可避免地要将臭氧排到系统之外，所以必须进行除害处理，使排出的臭氧量在允许浓度之下。
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