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德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空
分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理
设计/工作原理
普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。涡轮分子泵属于动能
真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋
转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何
形状的叶片定子盘。
轴承
通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中
有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑
电动机/驱动器
能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶
片速度是泵送气体所必需的。
如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源
包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流
ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项
*内置加热带可以帮助泵运行在较高温度（***gao75摄氏度），从而避免沉积物的累积；
*加热带由控制器进行温度控制，ATHMT型分子泵已随泵携带冷却水阀
*分子泵转速的调节——待机转速
—ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在***di待机转速与额定转速之间，这样可以根据客户的工艺情况（如运行在较gao压力下）使泵运行在***优状态。
***gao转速—34000 rpm（ATH 1300M/MT）
*磁悬浮分子泵的安装要求
---磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高，泵出现机械故障或者发生意外时，没有正确安装的泵完全可能由于动能传递到泵体而使得泵脱离设备从而造成事故
---当泵在运行过程中转子突然卡死时，转子的动能将被传递到泵体和设备上
---通过模拟分子泵损坏时的***坏状况（转子在全速时碎成两半）
广州潽拓光电——Shimadz岛津EI-3203MD磁悬浮分子泵控制器维修
基本参数：
品牌：Shimadzu
型号：EI-3203M
加工定制：否
额定电压：200-240（V）
额定电流：10（A）
功耗：1200（W）
外形尺寸：400x196x198（mm）
产品认证：cccc 同参数产品
产品别名：真空分子泵控制器
适用范围：玻璃镀膜
