电子束镀膜机部件介绍
镀膜室：
采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空专用不锈钢， 厚度≥1 mm）,镀膜室及前开门材质：304真空专用不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。
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电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？
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真空测量：采用数显复合真空计（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空）, 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。
断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。
电子束镀膜机介绍
** 带旋转的倾斜沉积
** 行星式基片夹具
** 基片RF/DC偏压
** 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
** 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）
** 用于反应蒸镀的MFC
** 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵
** 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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