气体监测
纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
1）电化学技术（TGS830、TGS832）费加罗传感器或卤素气体传感器。电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。
充装六氟化硫气体严禁水分进入
（1）工作未开始之前，首先应测定现场周围环境空气相对湿度≤80％（即空气中水蒸汽密度和同温度下饱和水蒸汽密度比的百分值），这是限制空气含水具体示数。测定如不合格，则应采取措施或重选干燥晴朗的天气进行充装。
（2）为使SF6泄漏气体及时排换，主尖在进行充装的同时开启通风机，认真遵守空气SF6含量不得超过1000ppm的规定。在工作开始后的一定时间内即应进行检测，并具体情况于中途再进行检侧。当出现SF6气体含量增i高或超过标准时，应随即对部件进行详细检查，查找原因并予以消除。
六氟化硫气体中i毒很严重么？一旦六氟化硫气体遇到高热、高温（如：电弧），会产生出副产物—氧化硫和***气体，它们与未分解的六氟化硫气体共存。此时就有三种***存在。氧化硫是一种硫i酸酐，易被***湿润的粘膜表面吸收生成***和亚***，***和呼吸道粘膜有强烈的刺激作用。具体表现为流泪、咳嗽、喉灼痛、眼结膜及呼吸道刺痛等症状。遇到***的汗液，会使人的皮肤红i肿。***，易溶于水。同样易被***湿润的粘膜表面吸收而生成氢i氟酸，它对***的危害同氧化硫一样——是眼和呼吸道，但危害更大。氢i氟酸常被用于刻蚀玻璃，可见它的腐蚀性极大。若遇到人的汗液，在人的皮肤表面形成氢i氟酸，它能穿透i皮肤表面向深层渗透，形成***和坏死，且不宜治i愈。若骨骼损害引起氟骨病，将无法复原。***的毒性比之氧化硫和六氟化硫有过之而无不及。
