半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。干泵选择CVD制程通常需要通过选择适当的干泵产品来克服四个特定挑战。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
金属电镀
如今的某些 制程使用金属有机前体物，当这些金属有机前体物通过舱室时， 它们会产生一些副产品，极有可能将其金属物沉积 到泵表面上。对于这些应用，通常使用低温泵以便确保 长的维修间隔。
气体减排选择
每个 CVD 制程都需要某种形式的气体减排 设备，以便可以将***和***的制程副产品安全地 转换为可任意处理的元素。爱德华真空泵油产品描述：原装进口爱德华UL-19UL-70低蒸汽压真空泵油产品描述：原装进口爱德华UL-19UL-70低蒸汽压真空泵油是从油蒸馏和完善的产品。我们对我们的燃料燃烧 废气管理设备倍感骄傲，因为它们能够有效地 将副产品强制重组为安全的化合物。有了多入口 燃料燃烧能力，当您不需要对制程废气进行除害处理时， 您可以通过关闭主燃烧器来快速部署环保模式。
集成式系统和生产层解决方案
仅仅有泵和气体减排设备，您 仍然不能随时运转您的制程。Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。您将需要连接泵排气管道、 连接管道加热器（如果需要）、铺设供水管道、吹扫管道和 电气线路，然后让所有控制信号准备就绪。您还 必须考虑双壳体、气体泄漏检测以及在进行工具维护后 如何进行泄漏检查。所有这些事宜都将占用您的 设计时间和资金。我们了解问题所在，因此开发了集成的、 特定于制程的解决方案。
我们的集成式系统已针对大多数半导体 CVD 制程进行预设计。我们会根据需要分配吹扫、水、电和控制信号并打造随时可投入使用的系统。排气加热器针对适当温度 进行设置以便大程度地降低成本和延长正常运行时间。我们 在需要的位置安装泄漏检查端口和闸阀。我们可以 在装置内安装有***体传感器并密封整个系统，*** 重要的是，您只需要提供每种所需的水电设施。我们 会根据需要分配吹扫、水、电和控制信号并打造随时可 投入使用的系统。
服务更换为了实现您的制程正常运行时间目标， 在计划内或计划外停机情况下，您需要快速响应。主要型号：EDWA***爱德华EM系列E1M5,E1M8,E1M12,E1M18,E1M30,E1M40,E1M80,E1M175,E1M275,E2M0。我们维护着 ***的服务更换产品库存，这些产品按照我们服务中心的 全新性能规范进行建造和测试。给我们打电话，我们会将 更换产品运送给您，而您只需将原装产品送回给我们 – 快速、简单 并且***时间***短！
摘要：
使用服务更换选项 大程度减少***时间库存中提供各种 各样的设备在很短的一段配置交货时间后 可提供其他选配型在我们的服务中心的受控 环境中制造
