




真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。 目前,***真空泵市场的年销售额约20亿美元,年增长率在7%左右。
我国生产真空泵的厂家很多,全部真空泵的年销售额大约在1.5亿元左右,仅相当于美国一家公司真空泵的年销售额。通过对***真空泵市场的分析我们可以看出,各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国外用户的认可并受到好评,应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。
真空泵选型时的注意事项
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

真空泵操作须知,需要注意哪些问题呢?
1.极限真空不高及其消除 (1) 油位太低,有较大排气声,可加入清洁的真空泵油。(2) 泵油为可凝性蒸汽所污染,可开气镇净化或更换新油。(3) 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时,有大排气声,排气口有气排出,应找出漏气部位,进行消除。(4) 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当,损坏或老化,应调整或更换。(5) 进油咀油孔堵塞,可拔出进油咀,疏通油孔。(6) 真空系统严重污染,包括容器、管道等,应予清洗。(7) 旋片弹簧折断,应予调换。(8) 旋片、泵身或盖磨损,间隙过大,应进行检查,修整或调换。(9) 泵温过高,应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高,应予先冷却后再进入泵内。
2.喷油 (1) 油位过高,可入出多余油量。(2) 减雾器中有泵油或杂物,应清除。
3.漏油 放油螺塞,油箱垫片损坏或装配不当,螺钉拧紧;油标未拧紧,有机玻璃过热变形;泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好;油封装配不当或磨损;应予调整或更换。
4.噪声 (1) 旋片弹簧折断,可调换弹簧。(2) 有毛刺、脏物或变形,运转发生障碍,应检查修磨清洗。(3) 轴承磨损,零件磨损。应修整或更换。(4) 电机出毛病,应进行检查。
5.返油 (1) 止回阀未关好,停泵后,油位很快下降,可再开再停,观察变化或拆开检查。(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损,可进行调换。(3) 泵盖或泵身平面不平整,可进行修整。(4) 排气阀片损坏,应进行调换。