兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些？
干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快，则产能越快，有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制，一般而言，在其它因素尚可接受的范围内，蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标，均匀度越好意谓着有较佳的良率，当晶圆尺寸越来越大，均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳，除了少数特例，如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole)，为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage)，因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。
兴之扬腐蚀不锈钢网片小编给大家介绍什么是湿式蚀刻技术：
早期的蚀刻技术是利用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反应来除薄膜未被光阻覆盖的部分，而达到蚀刻的目的，这种蚀刻方式也就是所谓的湿式蚀刻。因为湿式蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的去除，而化学反应本身不具方向性，因此湿式蚀刻过程为等向性，一般而言此方式不足以定义3微米以下的线宽，但对于3微米以上的线宽定义湿式蚀刻仍然为一可选择采用的技术。
湿式蚀刻之所以在微电子制作过程中被广泛的采用乃由于其具有低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比等优点。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2)化学***处理时人员所遭遇的安全问题；3)光阻附着性问题；4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻。
兴之扬腐蚀不锈钢网片小编为您解答钢蚀刻工艺中的滚涂原理：
使胶辊与钢轮平行靠紧，并匀速向内旋转，油膜从胶管喷至钢轮上，均匀调节胶辊与钢辊之间的紧密度，就可以控制黏附在胶辊上的油墨厚度与均匀度；钢片由输送带往前均速推进，与胶辊适当接触，胶辊上的油墨就均匀的转印到钢片表面上。在金属蚀刻的防蚀层制作中涂装技术应用较多，常用的涂装方法有丝印法、浸涂法、喷涂法、电泳涂装等。涂覆的防蚀层表面应均匀完整、无砂眼、白点等，如发现防蚀层有上述质量缺陷，且这些缺陷又在图文线条附近，特别是精细图文线条，应退除防蚀层重新涂覆。工件上喷涂的感光油膜干燥后，在进行***之前要进行质量检查。检查项目包括油膜表面无划伤、气孔，油膜的滚涂均匀性等，如达不到这个要求应将整个板面的油墨退掉重新滚涂。
