深冷制氮设备复杂机器一次性***较多，运行装置要求高并且周期较长，综合设备装置相同规格的***规模要比深冷装置低百分之二十，深冷制氮装置适用于大规模工业制氮，中小规模的会比较浪费了。
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中国对变压吸附制氧技术的开发起步较早，20世纪70年代是中国PSA分离空气制氧技术发展的鼎盛时期。***有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，建立了数套工业试验设备。
20世纪90年代是中国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟，有些产品的综合技术经济指标已经接近国外***水平。多年的实践表明，中国变压吸附制氧技术已经走出实验室步入实用化阶段。在近十年内，通过不断地技术更新和研究开发，制氧设备厂，中国变压吸附制氧技术日新月异、发展迅速，与世界***水平之间的差距正在不断缩小。
空气由压缩机加压后经过空气预处置装去油及水等固体杂质，制氮制氧设备，通过加压吸附冷却至常温，经过处置后的压缩空气由进气阀进入装有分子筛的吸附塔，空气中的氮气与二氧化碳被吸附，制氧设备，流出的气体即为高纯度的氧气，当吸附塔达到一定的饱和度后，进气阀关冲洗阀开，解吸阀打开进入解吸再生阶段，这样即完成了一个循环周期。
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