洁净室的发尘源
洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净厂房洁净度检测，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
① 洁净室内作业人员的产尘。一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，厂房洁净度，人员的产尘量为3.5~5×105个/人·分（≥0.5μm）。是洁净室内的主要的发尘源。
② 洁净室围护和室内表面的产尘。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3~5.0×104 个/m2·分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不同生产工艺的产尘量差别极大。在日本的资料介绍，一台电动机的产尘量大约为4.5~45×104个/台·分（≥0.5μm）。
{洁净室检测}
***和超***过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。***过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而超***过滤器是0.1μm，厂房洁净度，10级、1级或更高别洁净室必须的终端过滤器。***过滤器除去的是≥0.5μm的粒子。亚***、***和超***过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。***和超***过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。***过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而超***过滤器是0.1μm，10级、1级或更高别洁净室必须的终端过滤器。***过滤器除去的是≥0.5μm的粒子。亚***、***和超***过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。
静态洁净室的检测(OQ)
本阶段的检测至少应完成下列各项工作:
1、确认洁净区划分原则是否符合要求;
2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数;
3、确定保持温度和相对湿度的稳定性;
4、按粒子数确定洁净度级别;
5、确定压差;
6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;
7、确定照度;
8、确定噪声级;
9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数(必要时);
10、将取得数据结果写成书面文件。
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