




ZF500有机蒸发镀膜机
广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等,半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。
技术指标:
极限真空度4×10-5Pa,钙钛矿蒸发镀膜机生产厂家,系统漏率:1.2×10-7PaL/S; ***真空时间:40分钟可达6.0×10 Pa-4
真空室:D形真空室,尺寸350× 400mm
样品台:尺寸为4英寸4平面样品;
有机束源炉:数量:4支,钙钛矿蒸发镀膜机销售,标准型600度控温;
样品架:安装加热炉。基片的温度从室温至600℃(硅片上表面的温度,只需标定一次即可)
4套挡板系统:动密封手动控制;
样品挡板(1套),磁力拨叉,
膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
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有机热蒸发镀膜机介绍
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真空:极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
***工作真空时间:连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源,控温精度±1℃

电阻热蒸发镀膜——“蒸发技术”介绍
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
蒸发技术分为间歇蒸发与连续蒸发、直接电阻加热蒸发和间接电阻加热蒸发,连续生产与制造厚膜时采用连续蒸发加热。一个入射的蒸气原子在表面的滞留时间中,原子不断地扩散形成不均匀的成核作用,随着蒸气原子不断地冲击表面,各个核都在增长,相邻各核开始接触进入聚结阶段,直到形成连续膜。也可把上述过程划分为小岛阶段、网络阶段、孔阶段及连续膜阶段。
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