臭氧消毒臭氧的分子量为48，是由三个氧原子以共振结构存在，，是一种强氧化剂及强力的杀菌剂，O3 → O2 (O) (O) H2O → 2HO，其氧化力为自然界物质中仅次氟的强烈氧化剂，臭氧对水的溶解度为氧的13倍，能在短时间内大量融入水中，杀菌力可达氯的3000倍，使水中菌数显著降低，澄清水质，故臭氧可用来净化水质。电子射线源或白热丝在真空下加热，阴极产生电子，由于电子通过真空电场时速度加快，能量高，穿透力强，可达到杀菌的效果。
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根据物品污染后导致的风险高低选择相应的消毒或灭菌方法：1）高***度物品，应采用灭菌的方法处理；2）中***度物品，应采用达到中水平消毒以上效果的消毒方法；高浓度的臭氧可以老化橡胶，使铜片锈蚀，但臭氧作空气消毒时，并非使用纯臭氧，又具有极易分解的特点，况且一般为间断使用，故不易产生对环境设备的损害。3）低***度物品，宜采用低水平消毒方法，或做清洁处理；遇有病原微生物污染时，针对所污染的病原微生物种类选择有效的消毒方法
有些需要灭菌的材料不能受热，例如许多***溶液。因此，许多液体可以用过滤法来灭菌。过滤法不是将微生物，而是把它们排除出去。灭菌常用的方法有化学***灭菌、射线灭菌、干热灭菌、湿热灭菌和过滤等。过滤采用两类器具，一类叫深层滤器，例如用烧结玻璃、不上釉的陶瓷颗粒或石棉压成的滤板等：另一类是滤膜。深层滤器已经使用了100年以上，有逐渐被滤膜取代的趋势，但因为大量沉淀物容易堵塞滤膜，所以一般先用深层滤器除去大的颗粒。
