气体监测
纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
1）电化学技术（TGS830、TGS832）费加罗传感器或卤素气体传感器。电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。
红外光谱技术（IAC510）
红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。
为什么六氟化硫气体纯度不纯了？
（1）六氟化硫气体纯度不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、***等有***体。大家知道，目前化工行业制造六氟化硫气体的方法主要是采用单质硫磺与过量气态氟直接化合反应而成；即S 3F2→SF6 Q（放出热量） 。在合成的粗品中含有多种杂质，其杂质的组成和含量因原材料的纯 度、生产设备的材质、工艺条件等因素的影响而有很大差异，杂质总含量可达5%。其组成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4 等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、 SOF4 等 以及原料中带入的杂质如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。为了净化粗品中的杂质，合成后的 SF6气体还需要经过水洗、碱洗、热解（去除剧i毒的十氟化物） 、干燥、吸附、冷冻、蒸馏提纯等一系列净化处理过程才能得到纯度在99.8%以上的产品。然后再用压缩机加压，充入降温至 -80℃左 右的钢瓶中，以液态形式存在。在使用时减压放出，呈气态冲入电气设备中。
除在上面的合成过程中产生的杂质外，另外， 在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为保证六氟化硫的纯度和质量，对出厂的六氟化硫国际电工委i员会（IEC）及许多***均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验***证明书。
