真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。由此可以看出，当真空泵所需的真空度或气体压力不高时，可以优先在单级泵中选取。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
真空泵维护要注意的事项 维修中,应注意下述几点:
①该泵制造精度较高,不是非常必要则不必拆开,以检修不当,降低精度。当然维修工作者应当提高自己的技术水平,在该泵技术性能变差时,应及时修理,能定期(一年)检修。
②检修时,将泵从真空系统拆下后,开始检查试抽,确认必须拆泵修理时,可按下列步骤进行:取去护罩,拆下三角皮带及大皮带、排气筒,松开各进气嘴处的压盖,把油放干净后,拆去箱盖和油密封室,取出主轴(不必拆断链条),然后抬出左右机座
1、真空泵油的密封性
真空泵油需求具有适合的粘度，在低温下能使真空泵疾速启动，在高温下真空泵油能具有良好的密封性，在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分，降低运用过程中真空泵的返油率。
2、真空泵油的饱和蒸汽压
饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。
油品的饱和蒸汽压要尽量低，在泵的工作温度下，仍要具有足够低的饱和蒸汽压,并要低于真空泵规则的极限压强。在60℃温度条件下至少要到达6．5×10-5 kPa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
