标准气体属于标准物质。***标准物质管理办法及一级标准物质技术管理规范JG１００６－９４中规定，标准物质分为两级，与其相对应，标准气体也分为两级，即***一级气体标准物质和二级气体标准物质。***一级标准气体采用测量法或用两种以上不同原理的准确可靠的方法定值。在只有一种定值方法的情况下，用多实验室以同种准确可靠的方法定值，准确度具有国内***高水平，均匀性在准确度范围之内，稳定性在一年以上，或达到圆际标准气体的水平，包装形式符合标准物质技术规范的要求。
二级准气体可以采用绝队法、两种以上的方法或直接与一级标准体相比较的方法定值，准确度和均匀性未达到一级标准气体的平，但能满足一般测量的需要，稳定性在半年以上，或能满足实测量的需要，包装形式符合标准物质技术规范的要求。一级和标准气体必须经***质量监督检验检疫总局认可，并颁发定级证和制造计量器具许可证。
标准气体必须符合这两大特性！
标准气体的均匀性是一项十分重要的特征。虽然各种气体具有较大的流动性和扩散能力，由于配制标准气体时，几种组分气体先后充入高压钢瓶内，加之各组分气的分子量之差异，结果使钢瓶内的气体组分分布得不均匀，有的还可能产生分层现象。另外，气体组分与钢瓶内壁之间存在着一个吸附与脱附平衡过程，这对标准气体组分的均匀性产生不利的影响。正由于上述原因，配制标准气体尚需采取一定混匀处理手段，以解决充入钢瓶内的各种组分气均匀性的问题。钢瓶旋转滚动法是解决标准气体混匀的一种快速、简易、行之有效的方法。而自然扩散法也能使标准校正气体混合均匀，只不过达到均匀状态所需的时间较长。
校准气体的稳定性也是一项十分重要的基本特征。标准气的稳定性包含两个方面的内容，即标准校正气体分含量随时间的变化和标准校正气体组分含量随压力的变化。一般来说，一级气体标准物质稳定性考察实验需要一年以上，二级气体标准物稳定性则需半年以上考察时间。根据考察实验结果，才能确定出标准气体的使用有效期限，即标准校正气体的有效期。标准校正气体有效期长短，不能随意给定，必须以稳定性考察实验结果为依据。保持标准气中组分含量长期稳定极为重要。标准校正气体包装容器材质与容器内壁处理是影响标准校正气体稳定性的关键因素。
工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气: N2、H2、He、Ar、O2 ; 组分气: PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等，为了减少平衡气体中***杂质的含量，设有平衡气体高压净化器，通过净化平衡气的纯度大于99. 9999%，在净化器的出口设有在线H2O、O2 检测仪表，随时反映净化器出口气体关键杂质的含量，这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于******，吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气，化学法虽然能够通过反应进行中和，但由于涉及水溶液，因此，该法不是推荐方法，我们通常采用催化分解或燃烧的方法，可有效解决除AsH3 以外的有***体，AsH3 处理只是由气态***物变为固态而已。
为了避免交叉污染，工业气体配气设备的数量应根据业务情况确定，这一点十分重要，如配完B2H65%-H2 混合气，由于B2H6 的化学特性，通过吹扫抽空很难在短时间内将吸附在系统内的残存B2H6 吹净，若该系统再配制PH3 混合气，无疑将严重污染该气体。由于它们同属于掺杂气体，稍有残留将无法使用。
