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氮化硅
氮化硅具有许多与红宝石类似的特性。
这是一种非常坚硬耐磨的陶瓷材料，可加工成高精度球体。也可抛光为光滑的表面光洁度。
氮化硅与铝之间没有吸附性，因此不存在红宝石测球在类似场合所发生的粘附磨损现象。但氮化硅在钢材表面扫描时却具有很显著的磨擦磨损特性，因此其应用限制在铝质工件上。
刀具设定
刀具对于数字化制造是至关重要的，刀具参数的获取往往要耗费大量时间，而且机外对刀设备不能将跳动、主轴的热膨胀等因素充分考虑在内。使用机床对刀测头，在刀具旋转的状态下在机测量刀长和轮廓，可以迅速确定刀具参数并输入控制器处理。由于测针有一定的标准长度，所以在测针的红宝石球接触标准球后，还要运行一段距离，才能使传感器触发到信号，测针越长这段距离就越大。因此，使用对刀测头可以大量减少辅助时间，提高机床利用率。
球杆仪既可检测机床的几何误差，也可通过从冷态到热态多次检测进行热误差的检测。本文主要讨论机床热误差的微位移球杆仪检测法。
球杆仪作为一种高精密的测量仪器。影响其检测精度的系统因素如下： 1.金属球的球度和球座的圆度。球杆仪两端的金属球一般是由轴承钢制成的，直径一般为25.4mm。使用雷尼绍增材制造设备，ULV团队设计并制成了ARION4的关键部件CTS。这两个金属球的精度非常高，球度误差小于0.05μm。球座的圆度误差要求小于0.1μm。 2.线性位移传感器的测量精度。