




脉冲激光沉积系统(PLD)配置介绍
具体配置:
一, 超高真空腔体
二, 分子泵
三, 激光扫描系统
四, 衬底加热铂金片,可达1200度
五, 基板加热构造设计
六, 基板加热电源
七,PLD300A型激光镀膜设备, Rheed
八, Rheed软件
九,PLD300A型激光镀膜设备批发, 多靶位 ,标准配置6个靶
十, Load-Lock样品传输腔体
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脉冲激光沉积的原理
脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。
脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,PLD300A型激光镀膜设备公司,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
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脉冲激光沉积系统配置介绍
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脉冲激光沉积系统配置:
生长室,进样室可选水平、垂直两种靶台可选激光加热和辐射加热两种样品台可选,激光加热高的温度1200℃工艺气路可以任意搭配配备高压RHEED,工作气压可达100Pa可预留法兰,PLD300A型激光镀膜设备销售,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可选项如臭氧发生器,离子源,掩膜系统等。

PLD300A型激光镀膜设备-沈阳鹏程真空技术由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司()为客户提供“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”等业务,公司拥有“鹏程真空”等品牌。专注于成型设备等行业,在辽宁 沈阳 有较高知名度。欢迎来电垂询,联系人:董顺。

