





东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一,是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。
对准和***(A&E):保证器件和电路正常工作的决定性因素是图形的准确对准,以及光刻胶上精准的图形尺寸的形成。所以,涂好光刻胶后,首先是把所需图形在晶圆表面上准确***或对准。第二步是通过***将图形转移到光刻胶涂层上。
显影:显影是指把掩膜版图案复到光刻胶上。
后烘(坚膜):经显影以后的胶膜发生了软化、膨胀,胶膜与硅片表面粘附力下降。为了保证下一道刻蚀工序能顺利进行,使光刻胶和晶圆表面更好地粘结,必须继续蒸发溶剂以固化光刻胶。

东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一,是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。LED平行光***机:新一代LED平行光***机配置了双非球面石英透镜,使光的平行半角小于2°(普通水冷机大于45°),合川机械厂商,线路解晰度可达50UM/UM(普通机为100UM/UM)以下;此外led光线没有红外线的热辐射,避免了对照射产品的产生变型,从而让影像转移有更好的品质.

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