




检测步骤介绍
洁净度测试步骤:
(1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成,***用水检测,滤网之风速及泄漏测试均已完成,并已修换破损部分。
(2) 确认测试位置与测试点数。
(3) 取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异,若取样时间小于一分钟,则以一分钟为准。
(4) 测试位置应均匀分布在无尘室内,避免在产生大量粒子之附近,***用水检测费用,且将检测仪器以适当之架台支撑,不可以手持支撑。
(5) 测量点数以公式计算(与 209E 相同)。
四、验收标准:
洁净度的验收基准有二,首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是,任一隔间若需使用信赖度上限分析,***用水检测机构,则该分析值也必须小于规定值。
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洁净检测项目介绍
光照度测试
一、测前准备
洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成
测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转24小时以上。 洁净室环境需清洁完成
二、测试目的
此检测动作在于确认无尘室照明系统是否有达到设计要求。
三、测试仪器
***照度仪
四、测试步骤
无尘室光源至少使用100小时以上,***用水检测中心,测试前需点亮2小时以上。
确认测试点及配置图编号。
将照度仪固定置于距离地板上1.2m高度,待数值稳定后量测10秒记录。
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检测项目的步骤
压差检测步骤:
1) 先关闭所有的门。
2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。
3) 记录所有数据。压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
1) 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于 5Pa。
2) 洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
3) 对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
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