无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，***后经过超高性能过滤网或过滤后，供应至Fab区。
在净化空调系统中使用风机调频控制技术可节能；不但系统风量基本恒定，房间压力稳定；而且风机启动平稳同时可满足值班送风要求。
使用压差计除可直接指示洁净房间压差数值外，还可安装在过滤器两端，监测过滤器的阻力变化，即通过过滤终阻力来制定过滤器的合理更换周期，做到过滤器更换更加合理科学。
对于表中所列平均粒径名称要注意的是，在文献中常出现互相颠倒的称呼，例如此处称“平均面积直径”，而彼处则称“面积平均直径”，所以只有知道其表达式才能 弄清准确意义。但是，若从概念出发，这是容易弄明白的。例如在表1-1中，“平均面积”显然是指所有的面积被某种量（如粒数）去平均，因此面积在分子上；“面积平均”（比面积）显然是指单位面积而言，因此面积在分母上。记住这个原则，就不会混淆了。至于选用哪种平均直径合理，这要看工作目的而定。研究计重测尘时显然应采用和质量有关的直径Dv；丽研究微粒的光散射性质时宜用平均面积直径Ds或平均体积直径Dv，因为光散射量在不同的粒径范围内，可能与微粒面积或者微粒体积有关；在与光的折射性质有关的范围内的问题应采用算术平均直径D：，这种性质与微粒长度因次有关。 现举例计算微粒平均直径。在钠焰法测尘中，用电子显微镜测得在送风气流中采样的某标本片上的823个氯化钠微粒的短边尺寸，假定读值时放大倍数为30000倍（即包含电镜放大倍数和对电镜照读数用的读数显微镜的放大倍数。
