送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
净化厂房检测技术标准的采用原则
1. 强制性***标准是可以选用的标准
强制性的***标准等同于***的***，应该严格地遵守执行。违反强制性的***标准属于***。强制性的***标准中不仅有强制性的条文，还有非强制性的条文。非强制性的条文等同于推荐***标准。
2.推荐性***标准是可以选用的标准
推荐性的***标准可以选用，也可以不用。然而在没有约定的或者没有强制性***标准的情况下，推荐性的***标准也具有***效力，应该遵守执行。***也可以根据推荐性***标准判案
3.***标准是***的标准
***标准体现着***的***和主权。另外，由于净化车间内的装修用料一般均为高分子合成材料，而各种合成纤维织物和绝缘材料制成的工作服、工作鞋在动摩擦下均会不断产生静电。首先，它体现着***的意志，属于技术***，应该遵守和执行。行业标准和地方标准不允许违反***标准，但其技术要求可以高于***标准；企业标准不允许违反行业标准和地方标准，更不允许违反***标准，但其技术要求可以高于行业标准和地方标准，当然也可以高于***标准
净化空调系统组合式空调器安装：
（1）安装前应检查产品合格证，理解安装说明书，熟悉各功能段的安装设置
（2）检查安装基础的强度，坐标位置，大小，标高及水平度，以减少因倾斜引起的运转噪声和振动。
（3）对设备内部进行清洗，擦拭清除尘杂物和油污。检查送回风机是否有杂物，手动旋转叶轮时是否有异响。
（4）检查设备各检修门是否平整，启闭是否正常，密封是否脱落，关门检查箱体是否有漏光，空调允许漏风率不大于2％。
（5）检查设备内表冷器是否有明显损坏，随机配套风量调节是否启闭正常，对表冷器碰歪的翅片应以校正。
（6）空调器送回风风口与风管连接处应采取柔性连接。
（7）设备运转前应检查机内初中效过滤器是否有明显洞孔，松脱。