管道工程性能-管道工程-苏州珂锐弘扬流体控制(查看)

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

气体管路施工技术要求及验收标准？

施工要求：

1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。

2、管道铺设时，应注意平直，弯管处采用专用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用专用工具处理断口，管道工程厂家，严禁用普通锉刀处理。

3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。

4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。

5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。

6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。

7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。

8、在整个施工过程中，管道工程性能，应注意施工安全。

(4)验收说明

施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，管道工程，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。

以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合***标准。

实验室气路工程

建设标准化规范化的实验室，是需要配备***的分析仪器（ICP/GC等）的，管道工程生产商，为了让技术人员更安全、方便、***地使用这些分析仪器，选择正确又合适的供气模式也是其中不可或缺的一环，近年来，实验室高纯度集中供气模式被广泛应用，它主要由以下部分组成：

☆气站：包括气源、带吹扫自动切换装置、不锈钢盘管或金属软管、一级减压装置、二级减压阀装置、单瓶汇排流、双瓶汇排流、三瓶汇排流、末端/终端减压阀装置、气瓶装置、欠压报警装置、***报警装置等 。

☆输送系统：

供气管道采用316L高洁净无缝不锈钢管

管路尺寸：1”、1/2”、3/8”、1/4”、 1/16、1/8” 、3” 、6”……

洁净级别：EP、BA、AP……BAi级钢管壁厚只能做到2mm

通过卡套接头或焊接接头进行连接；

集中供气系统——让客户尽享安全、便利、***