300C有机无机联合蒸发
主要用途：
用于制备导电薄膜，半导体薄膜，铁电薄膜，光学薄膜等。
系统组成:
该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。
技术指标：
极限真空度：≤6.7×10 Pa
***真空时间：从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；
真空室：Ф400 x400mm圆筒型真空室 ，
蒸发源：1-4个，采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。
蒸发温度：加热温度：室温～1800℃；
蒸发舟在距中心100～160mm的圆周上；蒸发舟可上下升降，调节幅度0～150mm（样品中心与坩埚距离150~300mm）；
工作架类型及尺寸：样品托盘直径Φ300mm，其上可放多个直径20mm的小样品；样品托盘具有自转功能，转速在0～20 转/分钟，转速可调；样品托盘可摆角，角度在0～30度可调；
烘烤温度：400℃数显自动热偶控温（高温炉盘，数显自动热偶控温可加热到700℃）
电阻蒸发源：电压5V，10V，功率2.5KW，水冷电极1~4对
石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?
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派瑞林镀膜工艺介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司***生产、销售电阻热蒸发镀膜产品，以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
派瑞林镀膜工艺，是一种气相沉积CVD的镀膜方式。其工艺过程如下：首先固态的派瑞林原料在蒸发腔内随着温度的升高逐渐吸热升华；升华后的二聚体气体进入裂解腔，在680℃左右的温度下，二聚体的分子键被断开，形成具有两个悬空键的活性Parylene单体；Parylene单体被送到室温的真空沉积室里，在工件表面进行聚合沉积，形成一层致密的保护膜层。
派瑞林镀膜加工的优势
派瑞林它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称"无孔不入"可深入裂缝里和内表面，被业内称为当今世界首级的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。派瑞林涂层材料与派瑞林镀膜加工优势就是能够保护橡胶/硅树脂产品免受油、污垢和污染物的影响，提高润滑性。
派瑞林涂层材料，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。而派瑞林镀膜加工，使物件外表镀制金属膜层，将有机资料和无机资料结合起来，提高了它的物理性能以及改变产品外观。
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