磁电阻/超导复合式磁传感器早由D. Robbes等人提出，该类传感器主要由磁电阻传感器和超导磁场放大器构成。其中超导磁场放大器是一个由超导薄膜构成的闭合环路。超导环路中有一段宽度狭窄区域。磁电阻传感器位于超导磁场放大器环路狭窄区域上方并由绝缘层分隔。
对于超导磁场放大器而言，其磁场放大倍数主要由放大器的尺寸和狭窄区域宽度决定。增大超导磁场放大器的尺寸，以及减小狭窄区域的宽度，都会显著增加超导磁场放大器的磁场放大倍数。例如，理论计算表明，当超导磁场放大器直径达到25 mm，狭窄区域宽度为2 μm时，磁场放大倍数将达到3500 倍，而相应的磁电阻/超导复合式磁传感器的磁场探测能力将有望达到1 f，压力传感器ic，甚至更低的磁场。
磁电阻/超导复合式磁传感器的性能不仅取决于超导磁场放大器的磁场放大能力，同时也取决于磁电阻传感器的灵敏度、噪声等特性。目前在磁电阻传感器领域性能为优异、同时有应用价值及潜力的当属GMR和TMR磁传感器。下面将分别对GMR/超导复合式磁传感器的发展及本课题组在TMR/超导复合式磁传感器制备、测试方面开展的工作进行介绍。
嵌入可动电极的微惯性传感器的设计
MEMS电容式微惯性传感器因其具有尺寸小、灵敏度高、稳定性好、温度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等优点，在军事、汽车工业、生物***、消费电子、惯性导航等领域得到广泛的应用。 本首先分析了电容式微惯性传感器的测量控制原理和系统动态模型，并在此基础上通过三个方面设计出新型嵌入横向可动电极的微惯性传感器，分别是：支撑梁结构、微执行器结构和检测电容结构。通过分别对以上三方面不同结构模型的分析对比，在传感器设计中选用U形梁结构作为传感器的支撑梁，电磁执行器作为驱动力，梳栅结构作为检测电容结构。
其中为了克服深反应离子刻蚀关于深宽比不能做大的限制和降低噪声，详细介绍了电磁驱动增大传感器初始检测电容的工作原理，通过嵌入可动电极和电磁驱动作用减小电容间隙，结果表明，电磁驱动使得传感器的电容间隙减小4μm，初始检测电容由1.28pf增大到6.4pf。 根据以上理论分析和参数设计，给出了新型电容式微惯性传感器的整体结构模型，盐田区传感器，并利用有限元软件Ansys进行。结果表明所设计的传感器在非敏感方向上梁的刚度较大，轴向交叉效应得到了有效***；传感器的静态位移灵敏度为0.659μm/g，施加电磁驱动前后的电容灵敏度分别为0.15pf/g和0.192pf/g，增大为原来的1.28倍；同时应力分析结果表明，传感器能够抵挡1000g的加速度信号的冲击而不被损坏。之后利用电磁分析软件ANSOFT-Maxwell分析了边缘效应对传感器性能的影响，表明小尺寸的传感器电容的边缘效应不可忽略。
据外媒报道，韩国汽车供应商Carn***icom在2020年CES展上展示了其研发的激光雷达传感器。Carn***icom主要为汽车市场提供***驾驶辅助系统（ADAS）组件。
（图片来源：Carn***icom）
由于在本地采购无刷直流电机（BLDC）、激光二极管（LD）和雪崩光电二极管（APD）等零部件和关键部件，电流传感器ic，Carn***icom的新款激光雷达扫描传感器的平均成本下降了26％，从而导致激光雷达传感器能够以合理的成本集成至其他激光雷达产品和应用中。
Carn***icom展示了***的VL－AS16激光雷达传感器，红外传感ic，这是一款适用于自动驾驶环境的16通道扫描装置。此外，Carn***icom还展示了研发的3通道激光雷达，而且宣布计划推出价格合理、波长为1550nm的固态激光雷达装置以及多功能工业专用激光雷达。在激光雷达传感器的帮助下，通过检测前方的行人和骑自行车的人等障碍物，自动驾驶汽车可以安全行驶，并避免发生碰撞事故。
Carn***icom公司的首席执行官Jeremy Chong表示：“我们一直在研发***激光雷达传感器，表明了我们始终把车辆乘员和行人的安全放在首位。”自2001年成立以来，Carn***icom公司一直在发展壮大。为了部署ADAS技术，2019年，Carn***icom公司***了40亿韩国打造***T生产线，希望能够使激光雷达传感器的年产能超过180万台。
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