净化工程气压规定:
对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室),万级无尘室,由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,驻马店无尘室,为了节能,也都在探求降低风速的可行性。在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s水平平行流(层流)洁净室≥0.35m/s
净化技术的设备发展
对于半导体设备来讲,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路,而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为***的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个***和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
光学微电子净化工程解决方案:
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
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